ASML 的 EUV 扩张依赖于蔡司的合格光学输出
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2026-10-14
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马斯克的Terafab将在2027年中期开始使用ASML的EUV工具，尽管Musk更倾向于使用FEL光源进行内部芯片生产。
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2 条ASML的EUV生产扩张计划部分依赖于蔡司提高合格光学输出。
马斯克的Terafab将在2027年中期开始使用ASML的EUV工具，尽管Musk更倾向于使用FEL光源进行内部芯片生产。
